國(guó)產(chǎn)激光干涉儀是以光波為載體，測(cè)量精度高，測(cè)量速度快，測(cè)量范圍大，其光波長(zhǎng)可直接定義為米，并可追溯到標(biāo)準(zhǔn)。以其良好的性能、在很多場(chǎng)合，特別是在大長(zhǎng)度與大位移的測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床等儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)，以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。
 

　　結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數(shù)的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下，可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量和性能檢測(cè)，以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動(dòng)態(tài)分析。在調(diào)節(jié)光路時(shí)，請(qǐng)遵循以下基本流程：
 

　　1、將國(guó)產(chǎn)激光干涉儀放置在可調(diào)底座(如有)上，通電點(diǎn)亮激光器，等待其預(yù)熱；如預(yù)熱結(jié)束，尾部的“READY”LED指示燈會(huì)顯示綠色。鎖定激光器位置。
 

　　2、將所有導(dǎo)光元件初步固定在導(dǎo)光元件可調(diào)底座上，并安裝在設(shè)計(jì)位置；沿著光路順序，逐個(gè)調(diào)節(jié)導(dǎo)光元件。遇到光路分叉時(shí)，請(qǐng)先調(diào)節(jié)反射光路，然后調(diào)節(jié)投射光路。調(diào)節(jié)時(shí)請(qǐng)注意以下兩點(diǎn)：
 

　　a：出光口的光闌，選擇大光斑(6mm或者9mm光斑)，依次調(diào)整導(dǎo)光元件的橫向位置，使光束從導(dǎo)光元件通光孔的中心入射，保證光束不會(huì)出現(xiàn)消光現(xiàn)象；
 

　　b：選擇小光斑(3mm光斑)，依次調(diào)節(jié)各個(gè)導(dǎo)光元件的位置。將一平面鏡(前后面平行度較高)緊貼導(dǎo)光元件的反射光出口處，通過(guò)調(diào)整可調(diào)底座的俯仰度和傾斜度，使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導(dǎo)光元件的位置。
 

　　3、裝調(diào)完所有的導(dǎo)光元件之后，再安裝干涉儀。