白光干涉儀屬于3D測量領域檢測的高精度檢測儀器之一，其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其精度要求。

中圖儀器光學式表面粗糙度輪廓儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

中圖光學式表面粗糙度輪廓儀支持自動聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。

特點

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而準確的得到理想的測量結果。

隨著白光干涉測量技術的發(fā)展和完善，白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應用。在微電子、微機械、微光學等領域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。