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中圖儀器材料幾何輪廓共聚焦顯微鏡技術(shù)（VT6000系列）聚焦幾何輪廓測(cè)量核心需求，高度測(cè)量精度≤(0.2+L/100)μm，重復(fù)性≤12nm，可精準(zhǔn)捕捉臺(tái)階、曲率、平面度等核心幾何參數(shù)；寬度測(cè)量精度±2%，重復(fù)性≤40nm，清晰還原微小輪廓的尺寸細(xì)節(jié)。

中圖儀器VT6000材料共聚焦顯微鏡系統(tǒng)主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量，如材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量，具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。廣泛用于半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域中。

中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域，3D+2D全維測(cè)量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺(tái)設(shè)備滿足多維度檢測(cè)需求。

VT6000粗糙度輪廓度共聚焦顯微鏡具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量，賦能超精密加工行業(yè)高效管控，如半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域。

VT6000微米級(jí)粗糙度共聚焦顯微鏡結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。

VT6000中圖儀器共聚焦顯微鏡具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。